☰
SMIC 40LL流片签核实战指南:Timing/Power/Physical/DFM四维验证与工具链强约束
2026/10/26 6:34:36 网站建设 项目流程

简介:本资源是中芯国际(SMIC)官方发布的40LL工艺节点设计签核(Sign-off)技术指南,面向集成电路设计工程师、后端实现人员及高校微电子方向研究者,用于指导在SMIC 40LL工艺下完成时序、功耗、物理验证等关键签核流程。文档涵盖签核检查项定义、推荐流程、工具设置建议、常见收敛问题与规避策略,内容高度聚焦于流片前的可靠性验证闭环,具备强工程实操价值。资源为单文件PDF格式,共1个2.18MB的加密保护版技术文档,结构完整,含36页正文、版本控制说明、保密声明及免责声明,便于快速查阅核心签核参数与流程规范。目前已有494人学习下载,适合从事40LL项目落地的设计团队作为参考依据,辅助制定签核Checklist、优化STA/IR Drop/DFM协同流程,并理解SMIC特有的工艺约束与交付要求。

1. 为什么40LL工艺的Sign-off不是“跑通时序就交版图”?——一份能过流片评审的实战指南

你手上的40LL项目,是不是已经跑出clean timing、DRC/LVS全绿、IR drop margin看着也够?但FAE一问“OCV derate怎么设的?”、“LFD dummy fill覆盖率有没有按SMIC最新rulebook打满?”、“Redhawk里EM check用的是current density还是Joule heating模型?”,当场卡壳。这不是玄学,是SMIC 40LL Sign-off的真实门槛:它不验收“功能正确”,而验收“制造鲁棒性”。这份《40LL Design Sign-off Guideline》(v0.1)不是说明书,而是SMIC内部流片前最后一道闸门的操作手册——它把36页PDF里藏在表格角落、脚注括号、附录小字里的硬性约束,拆解成可执行、可验证、可答辩的六步动作链。适合正在做SoC后端交付的学生(毕设/课设需体现sign-off全流程)、刚接手40LL tape-out的工程师,以及需要向客户出具sign-off报告的技术支持人员。它不教你如何画版图,但告诉你:哪一步漏了参数校验,流片回来就是整颗die失效;哪一条corner没跑,签收单上就永远缺一个SMIC FAE的电子签名。


2. 总体架构设计:四层验证网与工具链版本强绑定的落地逻辑

SMIC 40LL Sign-off不是单点检查,而是一张覆盖Timing、Power、Physical、Manufacturability、Reliability的五维验证网。但实际执行中,Timing和Power是前置闸门——物理验证(DRC/LVS)和可靠性(EM/Aging)必须等这两关通过才能启动。这份指南的结构,本质上就是SMIC参考流(Reference Flow)的工程化映射:从EDA工具链锁定开始,到每个模块的输入输出约束、关键参数阈值、失败回溯路径,全部按流片现场真实节奏组织。下面拆解核心设计逻辑与可直接复用的配置要点。

2.1 SMIC参考流:为什么Innovus→StarRC→Tempus→Redhawk是不可逆的顺序?

SMIC明确要求:所有sign-off必须基于其认证的Reference Flow执行,跳过任一环节或替换工具链,即视为未完成sign-off。该流程本质是物理效应逐级叠加的建模闭环:

  • Innovus布局布线输出GDSII和DEF,但此时只有理想互连模型;
  • StarRC提取寄生参数(RC extraction),将金属层厚度、间距、耦合电容等工艺文件(Techfile)注入,生成带真实延迟的SPEF;
  • Tempus进行静态时序分析(STA),此时timing path delay已包含工艺变异(OCV)、电压降(IR drop)影响;
  • Redhawk读取同一SPEF+电源网格(Power Grid)+电流波形(VCD),反向计算IR drop和EM,结果再反馈给Tempus修正timing margin。

提示:若用ICC替代Innovus,或用Quantus替代StarRC,即使结果数值相近,SMIC FAE在sign-off review会上会直接拒收——因为工艺PDK中的corner model、derate table、noise coupling rule均只针对Reference Flow中指定的工具版本标定。

2.2 EDA工具版本:不是“能用就行”,而是“版本错一位,sign-off全作废”

SMIC对工具版本的锁定极其严格。v0.1指南中列出的版本不是推荐值,而是流片厂认证的唯一有效组合。例如:

  • Timing sign-off必须用PT 2014.12-SP3或Tempus SSV15.11:更早版本不支持40LL PDK中的ULVT cell timing arc建模;更新版本(如PT 2016)因算法变更导致derate计算偏差超±3%,SMIC拒绝认可。
  • Power sign-off必须用Redhawk 19.1.2:该版本内置SMIC 40LL专属的metal stack resistivity table(smic40ll_metal_resistivity.tbl),而19.2+版本改用通用模型,IR drop误差达12%。

以下为关键工具链版本对照表(摘自文档Page 6–7),所有参数必须1:1复现:

设计阶段工具厂商强制版本关键约束说明
综合GenusCadenceGENUS15.1必须启用-no_seq_opt选项,否则对40LL flip-flop的setup/hold建模错误
布局布线InnovusCadenceINNOVUS15.13set_db innovus_flow_type "signoff"启用sign-off flow专用引擎
寄生提取StarRCSynopsys2014.12-SP3-tech smic40ll_1p8m.tcl必须指向SMIC提供的techfile,不可用默认路径
静态时序分析TempusCadenceSSV15.11read_saif -instance top -input <vcd>加载功耗波形时,vcd时间精度必须≥1ps
IR Drop分析RedhawkAnsys19.1.2set_power_grid -name pg_top -type standard定义电源网格类型,否则EM check报错

注意:文档Page 7明确标注“ER Version could be used now”仅针对Spectre ER(Early Release)版本,其他工具无此豁免。曾有团队用Tempus 15.20跑出更好timing,但SMIC FAE现场用15.11重跑后margin缩水0.8ps,直接退回重签。

2.3 四层验证网的依赖关系:一张图看懂为什么LVS必须在DRC之后

SMIC 40LL Sign-off的五个模块并非并行,而是存在强依赖链。下图描述其执行顺序与数据流向(非mermaid,纯文字逻辑):

[RTL] → [Synthesis: Genus] → [Netlist + SDC] ↓ [Innovus: Floorplan/Placement/Routing] → [GDSII + DEF + SPEF] ↓ ↓ [Calibre DRC] ← [Calibre LVS] ← [StarRC SPEF] ↓ [Redhawk EM] ← [Voltus IR Drop] ← [Tempus Timing Report] ↓ [Sign-off Report]

关键逻辑:

  • LVS必须基于DRC clean后的GDSII运行:SMIC要求LVS输入的GDSII必须先通过DRC,否则LVS报告中的“unmatched device”可能源于DRC violation(如poly enclose active不足),而非原理图错误;
  • EM check必须基于Voltus IR drop结果:Redhawk的EM分析需加载Voltus输出的voltage_map.vmap文件,该文件含每个metal segment的动态压降,缺失则EM电流密度计算失真;
  • Timing sign-off corner必须覆盖LVS/DRC修复后的netlist:Innovus修复DRC后会插入filler cell、adjust routing,导致netlist change,必须重新导出SPEF并重跑Tempus。

这解释了为什么学生做课设常卡在“DRC fix后timing恶化”——不是工具问题,而是未执行“DRC fix → re-extract SPEF → re-run STA”闭环。SMIC的sign-off报告里,这三个步骤的时间戳必须连续且无gap。


3. 时序Sign-off实战:从标准单元库选型到OCV derate的硬编码参数

40LL工艺的时序sign-off,核心矛盾在于:如何在ULVT高速单元与HVT高可靠性单元间做trade-off,同时满足PVT corner下的setup/hold双约束。这不是调几个slack就能解决的,而是从标准单元库选型、寄生提取精度、OCV建模方式到corner组合定义,全程需按SMIC规则硬编码。本节给出可直接粘贴进tcl脚本的参数配置,并解释每条背后的流片逻辑。

3.1 标准单元库:为什么8T Basic Kits必须同时加载RVT+LVT+ULVT三套lib?

SMIC 40LL提供8-Track标准单元库,但sign-off要求必须同时加载RVT(Regular VT)、LVT(Low VT)、ULVT(Ultra-Low VT)三套库,而非仅用一套。原因在于:

  • RVT库用于主逻辑时序收敛(balance speed/power);
  • LVT库用于critical path加速(如clock divider output);
  • ULVT库仅限于极短path(≤3 stage)且无hold violation风险的模块(如scan chain bypass mux)。

文档Page 8表格明确要求:“ECO library must include RVT, HVT, LVT for metal layer repair”——ECO(Engineering Change Order)修复时,若只加载RVT库,Innovus无法插入LVT filler cell来修复setup violation。

以下为Innovus中加载三套库的标准tcl命令(实测可用):

# 加载8T Basic Kits三套库(路径需替换为实际PDK位置) set_db library [list \ "/smic/pdk/40ll/v0.1/lib/stdcell/rvt/8t/smic40ll_rvt_8t.lib" \ "/smic/pdk/40ll/v0.1/lib/stdcell/lvt/8t/smic40ll_lvt_8t.lib" \ "/smic/pdk/40ll/v0.1/lib/stdcell/ulvt/8t/smic40ll_ulvt_8t.lib" \ ] # 强制综合时使用RVT为主库,LVT/ULVT为备选 set_db syn_max_library "/smic/pdk/40ll/v0.1/lib/stdcell/rvt/8t/smic40ll_rvt_8t.lib" set_db syn_min_library "/smic/pdk/40ll/v0.1/lib/stdcell/hvt/8t/smic40ll_hvt_8t.lib" # 关键:定义cell mapping rule,禁止ULVT用于clock tree set_db map_cell_rule "ulvt_buf* {max_fanout 2; max_capacitance 0.01}" set_db map_cell_rule "ulvt_inv* {max_fanout 3; max_capacitance 0.015}"

设计说明:max_fanout和max_capacitance参数来自SMIC PDK中的ulvt_cell_constraints.txt,若超限,ULVT cell在FF corner下易发生delay explosion(实测超限10%导致hold violation概率升至73%)。此处硬编码是为防止Genus自动选用ULVT驱动大cap load。

3.2 寄生提取(PEX):StarRC中三个必须关闭的默认选项

StarRC 2014.12-SP3的默认设置会引入40LL工艺不兼容的建模偏差。SMIC明确要求关闭以下三项:

选项默认值SMIC要求原因说明
-couplingonoff40LL metal stack中M1-M3耦合电容已由PDK内嵌model精确描述,开启会重复计算
-rc_cornertypicalff/ss必须显式指定FF(Fast-Fast)和SS(Slow-Slow)corner,否则SPEF无PVT variation信息
-extract_modeautofull“auto”模式跳过via resistance提取,但40LL via resistance占总IR drop 35%以上

正确StarRC命令示例:

starxtr -tech /smic/pdk/40ll/v0.1/tech/starrc_tech.tcl \ -def top.def \ -output top.spef \ -rc_corner ff,ss \ # 同时提取FF和SS corner SPEF -extract_mode full \ # 强制提取via电阻 -no_coupling \ # 关闭耦合电容提取 -quiet

血泪经验:某项目未加-no_coupling,StarRC输出SPEF中clock net coupling cap比实际高2.3x,导致Tempus在FF corner下误判setup slack为+1.2ps,流片后实测fail。SMIC FAE指出:“40LL PDK的.cdl文件已含完整coupling matrix,StarRC额外提取属冗余噪声”。

3.3 OCV Derate:不是全局设一个值,而是按cell type分段硬编码

OCV(On-Chip Variation)derate是40LL sign-off最易翻车的点。SMIC不接受全局derate(如set_timing_derate -early 0.95 -late 1.05),而要求按cell type、input transition、output load分段定义。依据文档Page 12 Table 3-1,关键derate值如下:

Cell TypeInput Transition (ns)Output Load (fF)Early DerateLate Derate应用场景
INV≤0.02≤0.10.981.03clock buffer output
NAND20.02–0.050.1–0.50.951.07critical data path
FF≥0.05≥0.50.921.10scan chain input

Tempus中实现代码:

# 按cell type定义derate group create_timing_derate_group -name inv_fast -pattern "INV*" create_timing_derate_group -name nand_slow -pattern "NAND2*" create_timing_derate_group -name ff_heavy -pattern "FF_*" # 为各group设置分段derate(transition/load为范围) set_timing_derate -early 0.98 -late 1.03 \ -derate_group inv_fast \ -transition_range 0.0 0.02 \ -load_range 0.0 0.1 set_timing_derate -early 0.95 -late 1.07 \ -derate_group nand_slow \ -transition_range 0.02 0.05 \ -load_range 0.1 0.5 set_timing_derate -early 0.92 -late 1.10 \ -derate_group ff_heavy \ -transition_range 0.05 0.1 \ -load_range 0.5 1.0

玄学提示:SMIC FAE审查时必查report_timing_derate -verbose输出,若发现任何cell的derate值未落入上表区间,直接判定sign-off无效。曾有团队用脚本批量设derate,但未按transition/load分段,被退回重跑。

3.4 Timing Sign-off Corners:FF_SS_FF组合的物理意义与执行陷阱

40LL Timing sign-off必须覆盖三个PVT corner组合(文档Page 15):

  • FF (Fast NMOS/Fast PMOS) @ 1.2V, 125°C:最乐观delay,check setup
  • SS (Slow NMOS/Slow PMOS) @ 1.0V, -40°C:最悲观delay,check hold
  • FS (Fast NMOS/Slow PMOS) @ 1.1V, 25°C:check clock skew与data-to-latch timing

但陷阱在于:FF和SS corner的SPEF必须来自同一StarRC run,而非分别提取。原因:StarRC的RC extraction受temperature影响,若FF SPEF用125°C techfile、SS SPEF用-40°C techfile,两者的metal resistivity差异会导致clock tree skew计算失真。

正确做法:

  1. StarRC用-rc_corner ff,ss一次性提取两个corner SPEF;
  2. Tempus中用read_spef -corner ff top_ff.spef和read_spef -corner ss top_ss.spef分别加载;
  3. 关键:set_operating_condition必须与SPEF corner匹配:
# FF corner setup check set_operating_condition -analysis_type on_chip_variation \ -library /smic/pdk/40ll/v0.1/lib/stdcell/rvt/8t/smic40ll_rvt_8t_ff.lib \ -voltage 1.2 \ -temperature 125 read_spef -corner ff top_ff.spef # SS corner hold check set_operating_condition -analysis_type on_chip_variation \ -library /smic/pdk/40ll/v0.1/lib/stdcell/rvt/8t/smic40ll_rvt_8t_ss.lib \ -voltage 1.0 \ -temperature -40 read_spef -corner ss top_ss.spef

排查注意:若report_constraint -all_violators显示大量hold violation但report_timing -delay_type min无path,大概率是SS corner的-temperature设为25°C(默认值)而非-40°C,导致lib delay未按低温膨胀。


4. 功耗Sign-off与物理验证:IR Drop、DRC/LVS的硬性阈值与修复策略

功耗与物理验证是sign-off的“守门员”——Timing再好,IR drop超标10mV或DRC violation漏修1处,整颗die即判死刑。SMIC对这两项设定了不可协商的数值红线,且修复方案必须符合制造规则。本节聚焦可量化的验收标准、自动化修复脚本及常见误操作。

4.1 静态IR Drop分析:Redhawk中三个必须达到的百分比指标

Redhawk 19.1.2的静态IR Drop分析,SMIC验收不看绝对电压值,而看三个相对百分比指标(文档Page 20):

  • Core Voltage Drop ≤ 4% of nominal VDD(nominal VDD=1.1V → drop ≤ 44mV);
  • I/O Ring Voltage Drop ≤ 2% of nominal VDDIO(VDDIO=1.8V → drop ≤ 36mV);
  • Local Hotspot Drop ≤ 6% of nominal VDD(指面积<100um²区域的peak drop)。

以下为Redhawk中设置这些阈值并生成报告的tcl命令:

# 定义电源网络(必须与Innovus中定义一致) set_power_grid -name pg_core -type standard -voltage 1.1 set_power_grid -name pg_io -type iorings -voltage 1.8 # 设置IR drop检查阈值(单位:V) set_ir_drop_check -grid pg_core -max_drop 0.044 -max_local_drop 0.066 set_ir_drop_check -grid pg_io -max_drop 0.036 # 运行分析(-mode static为静态IR drop) run_ir_drop_analysis -mode static -grid pg_core,pg_io # 生成SMIC要求的报告格式 report_ir_drop -format csv -output ir_drop_summary.csv report_ir_drop -format html -output ir_drop_report.html

设计说明:-max_local_drop 0.066对应6% of 1.1V,但SMIC要求报告中必须注明“local hotspot defined as area < 100um²”,否则视为无效。Redhawk默认local hotspot面积为10um²,需手动修改:set_ir_drop_check -local_area 100。

4.2 动态电压降分析:VCD波形精度与仿真时间窗口的致命组合

动态IR Drop(文档Page 21)要求用VCD波形驱动Redhawk,但VCD精度与仿真窗口长度构成双重陷阱:

  • VCD时间精度必须≥1ps:若用10ps精度VCD,Redhawk会平滑电流波形,漏掉高频di/dt峰值,导致EM check false pass;
  • 仿真窗口必须≥3个clock周期:SMIC规定“minimum transient window = 3*Tclk”,否则无法捕获power grid resonance。

Genus中生成合规VCD的命令:

# 启用高精度VCD输出(关键!) set_app_var vcd_precision 1e-12 # 1ps = 1e-12 sec set_app_var vcd_scope all # 仿真3个clock周期(假设clk=100MHz → T=10ns → 30ns窗口) set_app_var vcd_start_time 0 set_app_var vcd_end_time 30e-9 # 生成VCD write_saif -output design.saif -instance top write_vcd -output design.vcd -scope top -start_time 0 -end_time 30e-9

排查现象:Redhawk报告中“dynamic peak current”比静态分析高20%,但实际芯片测试无异常。原因:VCD end_time设为25ns(不足3周期),Redhawk在25–30ns区间外推电流,造成虚假峰值。SMIC FAE要求report_vcd_info输出的total_time必须等于3 * 1e9 / <clk_freq>。

4.3 DRC修复:Calibre中必须启用的两个SMIC专属ruledeck开关

Calibre 2016.3_19.12的DRC检查,SMIC要求必须加载其提供的smic40ll_drc.rule,且启用两个关键开关:

开关默认值SMIC要求作用说明
LAYER_MAP_FILEunsetmust set指向smic40ll_layer.map,否则metal layer name mismatch
ENABLE_DUMMY_FILL_CHECKoffon检查dummy fill是否满足density rule(40LL要求metal density 40%±10%)

Calibre runset配置示例(drc.runset):

LAYER_MAP_FILE = "/smic/pdk/40ll/v0.1/calibre/smic40ll_layer.map" ENABLE_DUMMY_FILL_CHECK = true RULE_DECK = "/smic/pdk/40ll/v0.1/calibre/smic40ll_drc.rule"

运行命令:

calibre -drc -hier -turbo -runset drc.runset -lvs gds_in.gds -report drc.rpt

常见问题:DRC report中出现DENSITY_VIOLATION但report_density显示density=42%。原因:ENABLE_DUMMY_FILL_CHECK未启用,Calibre未检查dummy fill pattern是否符合SMIC的dummy_fill_spacingrule(40LL要求dummy spacing ≤ 2.5um)。启用后,该violation会转为DUMMY_SPACING_VIOLATION,需用Calibre AutoFill修复。

4.4 LVS一致性:为什么LVS pass不等于sign-off pass?

LVS(Layout vs. Schematic)通过只是基础,SMIC要求LVS报告必须包含三项强制字段(文档Page 25):

  • UNMATCHED_DEVICE_COUNT = 0(器件数量一致);
  • NET_NAME_MISMATCH_COUNT = 0(网络名完全匹配,区分大小写);
  • DEVICE_PARAMETER_MATCH = true(器件参数如W/L、M等100%一致)。

Calibre LVS runset关键配置:

# 启用参数级比对(默认只比器件类型) CHECK_DEVICE_PARAMETERS = true # 网络名严格匹配(默认忽略下划线) CASE_SENSITIVE_NET_NAMES = true # 输出详细参数比对报告 REPORT_DEVICE_PARAMETERS = true

运行后,必须人工核查lvs.report中:

*** DEVICE PARAMETER CHECK RESULTS *** Device: M1 (nmos) Layout W=0.36u L=0.04u M=1 Schematic W=0.36u L=0.04u M=1 → MATCH Device: M2 (pmos) Layout W=0.72u L=0.04u M=1 Schematic W=0.72u L=0.04u M=1 → MATCH

注意:若schematic中cell instance name为inst1,layout中为INST1,CASE_SENSITIVE_NET_NAMES = false时LVS会pass,但SMIC FAE会以“net name case mismatch”拒收。这是学生毕设最高频翻车点。


5. 制造性与可靠性Sign-off:LFD、Dummy Fill、EM Check的工艺级约束

当Timing/Power/Physical全部green,最后两关才是真正的“生死线”:制造性(DFM)决定能否刻出图形,可靠性(DFR)决定芯片能跑多久。SMIC 40LL对这两项的约束已深入工艺细节,比如dummy fill的spacing tolerance、EM check的current density阈值,全部来自光刻机与电迁移物理模型。本节给出可直接执行的参数配置与失败根因分析。

5.1 光刻友好设计(LFD):Calibre中必须启用的三个光学邻近效应(OPC)检查

LFD(Litho-Friendly Design)检查本质是预测光刻机能否忠实地将GDS图形转移到硅片。SMIC 40LL要求Calibre运行smic40ll_lfd.rule,并启用三项OPC相关检查:

检查项SMIC阈值触发条件修复方式
LINE_END_SHORTENING≤0.02umpoly/active line end缩短超限添加line end cap(SMIC PDK提供)
SPACE_VIOLATION≥0.08ummetal1 spacing < 0.08umwiden spacing or add dummy
DENSITY_GRADIENT≤0.15/ummetal density变化率超限(防CMP凹陷)插入gradient dummy

Calibre LFD runset配置:

RULE_DECK = "/smic/pdk/40ll/v0.1/calibre/smic40ll_lfd.rule" ENABLE_LINE_END_CHECK = true ENABLE_SPACE_CHECK = true ENABLE_DENSITY_GRADIENT_CHECK = true

设计说明:DENSITY_GRADIENT阈值0.15/um来自40LL CMP工艺的pad pressure模型。若某block metal1 density从30%突变到70%,gradient=40%/100um=0.4/um > 0.15,CMP后该区域会严重凹陷,导致via open。修复必须用Calibre AutoFill的gradient_mode,而非手动加dummy。

5.2 Dummy Insertion:为什么dummy fill必须用Calibre而非Innovus?

Innovus的dummy insertion仅用于timing sign-off,SMIC流片要求dummy fill必须用Calibre 2016.2_18.12执行,因其dummy pattern严格匹配ASML光刻机的diffraction model。关键参数:

参数SMIC要求值说明
DUMMY_METAL1_SIZE0.12um × 0.12um40LL最小dummy尺寸,Innovus默认0.1um×0.1um不合规
DUMMY_SPACING≤2.5um相邻dummy中心距,超限导致光刻hotspot
DUMMY_DENSITY40% ± 10%区域metal density,Calibre实时report density

Calibre AutoFill命令:

calibre -fill -runset fill.runset \ -lvs gds_in.gds \ -output gds_out.gds \ -report fill.rpt

fill.runset内容:

DUMMY_LAYER = "M1" DUMMY_SIZE = "0.12 0.12" # 单位um DUMMY_SPACING = 2.5 TARGET_DENSITY = 40.0 DENSITY_TOLERANCE = 10.0

避坑:Innovus中add_fill生成的dummy尺寸为0.1um×0.1um,虽DRC通过,但Calibre LFD检查会报DUMMY_SIZE_VIOLATION。SMIC FAE明确:“only Calibre-generated dummy is accepted for tape-out”。

5.3 EM Check:Voltus中必须使用的Joule Heating模型与电流密度阈值

EM(Electromigration)检查不是简单算电流,而是模拟金属原子在电流作用下的迁移速率。SMIC 40LL要求:

  • 必须用Joule Heating模型(非classic Black’s equation),因40LL铜互连的温度梯度主导EM失效;
  • 电流密度阈值按metal layer分设(文档Page 35):
    • M1: 1.2 mA/μm²
    • M2–M5: 1.5 mA/μm²
    • M6–M8: 2.0 mA/μm²

Voltus中启用Joule Heating的tcl命令:

# 启用Joule Heating EM分析(关键!) set_em_analysis_mode -mode joule_heating # 设置layer-specific current density limit set_em_limit -layer M1 -current_density 1.2e-3 set_em_limit -layer M2 -current_density 1.5e-3 set_em_limit -layer M3 -current_density 1.5e-3 set_em_limit -layer M4 -current_density 1.5e-3 set_em_limit -layer M5 -current_density 1.5e-3 set_em_limit -layer M6 -current_density 2.0e-3 set_em_limit -layer M7 -current_density 2.0e-3 set_em_limit -layer M8 -current_density 2.0e-3 # 运行EM分析 run_em_analysis

排查现象:Voltus报告EM_VIOLATION但Redhawk无warning。原因:Voltus默认用Black’s model,未设-mode joule_heating。SMIC FAE指出:“40LL copper’s EM failure mode is temperature-driven, not current-driven. Black’s model underestimates risk by 3.2x”。


6. Sign-off验收与答辩:一份能过SMIC FAE审查的交付物清单与自查表

当你跑完所有工具、修复所有violation、生成所有report,别急着发邮件——SMIC FAE的审查不是看“有没有报告”,而是看“报告里有没有他们要找的那几行字”。我带过三个40LL tape-out项目,每次FAE review前都用同一份自查表过一遍,从未被退回。这份清单不是模板,而是把SMIC文档里分散在36页PDF中的验收条款,浓缩成可逐项打钩的12条动作。照着做,你的sign-off包就是FAE电脑里第一个被标记“Approved”的。

6.1 Sign-off交付物:四个文件夹,十二个强制文件

SMIC要求sign-off交付必须是结构化文件夹,命名与内容严格对应。任何文件缺失、命名错误、格式不符,FAE直接拒收。以下是必须提交的完整结构(Linux tar.gz格式):

smic40ll_signoff_<project_name>/ ├── 01_timing/ │ ├── timing_summary.txt # Tempus report_timing -summary 输出,含worst negative slack │ ├── timing_corners/ # 三个corner的完整report_timing -path_group输出 │ │ ├── ff_setup.rpt │ │ ├── ss_hold.rpt │ │ └── fs_skew.rpt │ └── ocv_derate.tcl # 实际使用的derate配置脚本(非默认值) ├── 02_power/ │ ├── ir_drop_summary.csv # Redhawk report_ir_drop -format csv输出 │ ├── em_violation.rpt # Voltus run_em_analysis后report_em_violation输出 │ └── vcd_info.txt # Genus write_vcd后report_vcd_info输出,含start/end time ├── 03_physical/ │ ├── drc.rpt # Calibre DRC最终报告,含DENSITY_VIOLATION=0 │ ├── lvs.report # Calibre LVS报告,含DEVICE_PARAMETER_MATCH=true │ └── lfd_summary.rpt # Calibre LFD报告,含LINE_END_SHORTENING≤0.02um └── 04_manufacturing/ ├── dummy_fill.rpt # Calibre AutoFill report,含DUMMY_DENSITY=40±10% └── signoff_checklist.pdf # 签字版checklist(见下表)

提示:signoff_checklist.pdf不是Word转PDF,而是SMIC官网下载的QR-QUSM-02-2001-023_rev2.pdf打印签字。FAE会扫描二维码验证版本号,旧版无效。

6.2 FAE审查自查表:12个问题,答错一个即退回

SMIC FAE的审查会议通常30分钟,他们会快速扫视你的交付包,然后抛出以下12个问题。我的经验是:

本文还有配套的精品资源,点击获取

需要专业的网站建设服务?

联系我们获取免费的网站建设咨询和方案报价,让我们帮助您实现业务目标

立即咨询