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ENI GHW12Z-13DF2N0-001是ENI（后被MKS Instruments收购）Genesis GHW系列的一款射频发生器，最大输出功率12.5kW，频率13.56MHz，主要用于半导体制造中的等离子体工艺设备，如AMAT Endura平台。

5条产品特点

• 属于ENI Genesis GHW系列射频发生器，原厂已停产，市场上以库存替换件和维修服务为主

• 输出功率12.5kW，频率13.56MHz，属于工业标准射频频率

• 采用三相380-480VAC输入，适配工业供电环境

• 配套AMAT Endura平台使用，是应用材料设备的重要组件

• 常见于二手半导体设备市场，属于可替换的维修备件

5条产品参数

• 型号：GHW12Z-13DF2N0-001

• 产品系列：Genesis GHW-12

• 输出功率：12.5kW

• 输出频率：13.56MHz

• 输入电压：三相380-480VAC，50/60Hz

5个应用领域

• 半导体等离子体蚀刻设备

• 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）

• 高密度等离子体CVD（HDPCVD）

• 半导体设备维修与翻新

• 真空镀膜与薄膜沉积设备

总的来说，ENI GHW12Z-13DF2N0-001是Genesis GHW系列的一款12.5kW、13.56MHz射频发生器，主要配套AMAT Endura平台使用，在半导体等离子体工艺中承担射频功率输出任务，是蚀刻和沉积设备里的常见配套模块。