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沃拉斯顿偏振器是由两个双折射材料棱镜用光学特定胶水粘结在一起制成的。寻常光和非寻常光在输入光束轴上的偏离几乎是对称的，因此沃拉斯顿偏振分束器的偏离大约是罗雄的两倍。MgF₂ Wollaston 氟化镁沃拉斯顿偏振棱镜。

• 基础结构与设计原理

1. 晶体属性

MgF₂为正单轴晶体，，透光区间110~7000nm，深紫外至中红外全覆盖。

1. 结构构成

两块同规格直角 MgF₂棱镜光轴相互垂直，斜面贴合光胶组合；自然光垂直入射端面。

1. 分光原理

• 入射光进入第一棱镜，分解为 o 光、e 光同路传播
• 界面处偏振身份互换，折射率发生突变
• 两束正交偏振光同时向两侧偏折，出射后彻底分开
• 区别洛匈棱镜：沃拉斯顿两束光均偏离入射轴线

1. 核心分离角公式

为棱镜顶角，顶角越大、波长越短，分光夹角越大。

二、关键设计参数

1. 工作波段

核心适配：193/248/266/355nm 深紫外，兼顾可见、近红外、中红外。

1. 双折射与分光角

532nm 处，常规分光夹角1°~5°，按需定制顶角调整角度。

1. 光学指标

• 消光比：标准，精密级可达
• 损伤阈值：1064nm 下约，深紫外耐受度优异
• 面形精度：常规，精密检测用

1. 拼接工艺

• 光胶结构：无有机胶层，深紫外、高功率场景专用，无吸收老化
• 胶合结构：低成本，仅适用于 400nm 以上低功率光路

1. 通光孔径

常用 Φ6/8/10/15/20mm，设计预留 1.2~1.5 倍光束余量规避边缘损耗。

三、性能对比

四、标准型号与参数（福州呈欣光电可量产提供）

呈欣光电提供的型号

WSP50系列：φ6 ~50mm，130–4000 nm，2.7°@532 nm，消光比 < 5×10⁻⁴。

五、主流应用场景

1. 半导体精密检测

193/266nm 光刻光路、晶圆缺陷扫描、薄膜椭偏测厚，正交偏振差分成像，识别纳米级细微瑕疵。

1. 深紫外激光系统

紫外打标、刻蚀、精密切割设备，偏振分光合束，调控激光输出偏振态。

1. 干涉测量仪器

激光干涉仪、位移传感、光谱分析，拆分正交偏振光，实现相位与光强检测。

1. 光学通信与传感

光纤偏振解调、红外传感光路，完成偏振分束，提升信号分辨能力。

1. 科研偏振实验

量子光学、偏振光谱、偏振成像，作为标准偏振分光核心元件。

六、选型设计要点

1. 短波长优先选光胶结构，杜绝胶层紫外吸收损坏元件
2. 根据光路间距确定分光夹角，顶角匹配实际安装空间
3. 高功率工况优先选用高损伤阈值基材与精密面形